電子廠廢氣含有很多有害氣體成分，如果不經過處理直接排放，會危害到我們的身體健康，對大氣環境造成污染，現在國家對電子廠的廢氣處理問題越來越重視，生產過程中排出的廢氣需達到國家相關的排放要求才可以。如何來進行處理呢？

　　電子行業廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等。

　　1、光氧催化利用高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物。

　　2、光氧催化利用氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對有機物具有較強的氧化作用。工業廢氣輸入到凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束和臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

　　3、光氧催化利用細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸，再通過臭氧進行氧化反應，達到凈化殺滅細菌的目的。采用脈沖電暈吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，使有機物轉變為無機物。